“CVD工艺设备用尾气处理装置”参数说明
品牌: | 茂竺 | 应用领域: | 电子及半导体 |
处理气体类型: | 工业酸碱废气 | 形式: | 燃烧+水淋式 |
加工定制: | 是 | 处理气量: | 工艺尾气有毒有害气体 |
净化率: | 99% | 型号: | HEAT MS096 |
规格: | HM096 | 商标: | 茂竺 |
产量: | 100 |
“CVD工艺设备用尾气处理装置”详细介绍
各类CVD工艺设备尾气的处理,采用燃烧+水淋式的处理方式,
可以根据采用的气体种类和气体流量进行设计和定做。
完全可以代替韩国等进口设备。
可以根据采用的气体种类和气体流量进行设计和定做。
完全可以代替韩国等进口设备。